离子蚀刻技术开创精密晶振生产新纪元
来源：http://www.dgkjly.com 作者：dgkjly 2012年06月06
知识改变命运，科技振兴中华。科技的不断进步，对各种电子元器件的精密度要求就会越高，经过一代又一代人的不断潜心实验，我国电子研发专家发明了一项新的技术——离子蚀刻技术.我们知道离子束加工是在真空条件下,将惰性气体通过离子源产生离子束,经过加速、集束、聚焦后,照射到被加工表面上实现各种加工的方法，因为其具有加工精度和表面质量高、加工材料广泛、控制性能好等特点,被应用于各种工业加工中.频率微调是石英晶振加工过程中涉及频率调整的最后一道工序,其加工方法有手工打磨的方法、蒸发频率调整法和离子蚀刻法。手工打磨的方法因其效率、合格率、精度低,目前很少使用.蒸发频率调整法会使石英晶片的镀膜产生偏移,镀膜强度不均匀.离子蚀刻法虽然没有镀膜偏移、镀膜强度不均匀的缺点,但是因为加工后数秒内会有一定的频率偏差,导致其精度、生产效率低于蒸发频率调整法,因此不能完全取代蒸发频率调整法.本文对离子蚀刻后产生频率偏差的现象进行分析,并提出可以降低此现象的加工工艺,使得离子蚀刻法的精度可以超过蒸发频率调整法.1石英晶振的原理1.1石英晶振的形成及等效电路石英晶体是单晶体结构(SiO2),其形状为六角形晶柱,两端呈六棱锥形状.石英晶振是按照特定的方位角从石英晶体上切下一片薄片,然后根据特定的尺寸(由目标频率决定)研磨出的石英晶片,在晶片的两面涂覆金属层，这样就达到了生产精密晶振的效果。
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